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用什么方法可以鑒別晶體管等半導體設備中的不同物質

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問 提問者：網友 2017-01-27
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半導體設備中紅外激活物質會發(fā)出特征性近場光譜信號。通過這些信號就可以鑒別不同的物質了。這些信號的捕捉需要散射式掃描近場光學顯微鏡來實現(xiàn)?，F(xiàn)在市面上唯一一臺分辨率可以達到10nm的散射式掃描近場光學顯微鏡（s-SNOM）是由德國生產的。 相關的文獻A.J.Huber等在2010年的Nanotech上有過發(fā)表的“Infrared spectroscopic near-field mapping of single nanotransistors”。 除了鑒別物質外，散射式掃描近場光學顯微鏡還可以用與研究化學組成、晶體結構、機械張力、輻射損傷、載流子濃度，遷移率、電場分布等，應用領域包括極性晶體、半導體納米設備、超材料和納米天線、納米線和納米顆粒、聚合物和蛋白質等。 參考網站：百度上搜索“上海沃埃得貿易有限公司”
回答者：網友
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