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請(qǐng)介紹一下擴(kuò)散硅原理(在壓力傳感器中)

1.什么是擴(kuò)散硅的原理。2.講一下他在壓力傳感器中的應(yīng)用。謝謝
問(wèn) 提問(wèn)者:網(wǎng)友 2017-06-26
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能夠用到硅材料的壓力傳感器應(yīng)該是壓阻式傳感器,屬于微型化的傳感器。壓阻效應(yīng)任何一本傳感器書(shū)中都會(huì)有介紹,我就不多說(shuō)了。既然是壓阻效應(yīng),就要在硅片上擴(kuò)散電阻,也就是說(shuō)在硅片上摻雜上別的材料,做出電阻來(lái)。一般來(lái)說(shuō)P型電阻靈敏度高,必須將其擴(kuò)散到N型襯底上。再詳細(xì)點(diǎn),就找本集成電路加工工藝的書(shū)。說(shuō)到應(yīng)用,在汽車(chē)、醫(yī)療、軍事上都有用的,象恩德福克公司、恩特蘭公司、IC Sensors公司等,都在做這類(lèi)的傳感器。
回答者:網(wǎng)友
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